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    科普篇:福州干式真空泵的四大特性

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    科普篇:福州干式真空泵的四大特性

    发布日期:2018-01-22 作者:福州干式真空泵 点击:

    今天小编来给大家科普下福州干式真空泵,干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段,如日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,大大提高了产品的性能和质量。干式真空泵主要有以下四大特点:

    福州干式真空泵

    1、真空度

    干式真空泵、爪式真空泵、无油涡旋真空泵极限真空度都很高,最高极限真空均可达到1-2Pa,珂勒曦的干式螺杆真空泵极限真空已突破0.1Pa;无油往复真空泵为粗真空设备,极限真空度低,需要搭配罗茨等其他真空泵提高极限真空。

    2、抽气量

    无油涡旋真空泵由于内部结构问题,抽气量较小,只适用于小抽气量的工艺中;干式螺杆真空泵型号齐全,可适用大抽气量工艺中,配合罗茨真空泵可以满足不同客户的需求。

    3、稳定性

    福州干式真空泵性能稳定,噪音低,故障率低;无油往复真空泵结构简单,噪音较高,需要经常更换滑片。爪式真空泵由于装配复杂,转子与轴不为一体,出现故障需全部重新拆解装配,反复装配从而降低产品性能及稳定性。

    4、特殊工况处理

    由于化工、制药、半导体行业等相关工艺气中会不同程度含有易燃、易爆以及腐蚀性气体,所以干式真空泵需要特殊处理。干式螺杆真空泵内部结构简单,两根转子、泵腔均可做防腐处理,常见的有镍磷涂层和特氟龙涂层,珂勒曦干式螺杆真空泵采用则是特殊的多层镀镍和纳米材料镀层,有效防止盐酸等高腐蚀性介质对设备的侵蚀。爪式真空泵很难做防腐处理,各级隔板之间几乎无法做表面处理,转子表面的防腐涂层也容易在装配时损伤。无油涡旋真空泵只适合抽洁净的气体,不能抽取易燃、易爆及具有腐蚀性的气体。

    以上就是福州干式真空泵的全部内容看,如果还想要了解更多内容,请随时关注我们的新闻动态。


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